四象限光电探测器用于二维小角度测量的研究.pdfVIP

四 象 限 光 电 探 测 器 用 于 二 维 小 角 度 测 量 的 研 究 钱 建强 惠 梅 王 东生 清华大学精密仪器与机械 学系 北京 ! ###$% 摘要 介绍 了利用高灵敏度 四象 限硅光 电管作为探测器 的二维小角度测 量系统 详细 分析 了其测试 原理 及 实验装置 测试系统 利 ’ ( 用半导体激光器做光源 采用 了偏振分光器件 结构小巧 能量利用率高 具有较 高 的测量精度 为小角度测试技术 的研 究 提 出了一 ’ ’ ’ ’ ( 种新 的方法 ( 关键词 四象 限硅光 电探测器 半导体激光器 二维小角度测量 )*+*,-./0123,4567+89,445:;4**,+3-*9*:= ,+*?0:@7;/8*:+7=7A7=B C3,?-,:=2*=*.=0-+ DEFGHEFGIEFGJ KLE MNE OFGJPQGJRSNGJ ! W ’ ’ pqqqrs’ TUV XYZ[U\]^]X_‘_^a[bcU_ad_efU\gd_XhXij k^]_igbdl_]mU[^]aj nU]o]_i tg]_d 5u+=-,.= vSERwFwNxEGyxQzL{NRySNzLF|F}ERR~F||FGJ|N~NFRLxEGJR!RyN~’SE{SLRNRILFzxFGyRE# ’ ’ W wSQyQN|N{yxE{{N||FRySNzNyN{yQx FGF|!$NRySN~NFRLxEGJwxEG{Ew|N N}wNxE~NGyF|NILEw~NGy vSNNILEw~NGy LRNRRN~E{QGzL{yQx|FRNxFRQwyE{F|RQLx{N’FGzFzQwyRwQ|FxE$FyEQGRw|EyyNxW%Q’ySNNILEw~NGySFRFzFGyFJNR Q’RE~w|NRyxL{yLxNFGzSEJSwxN{EREQGWvSERwFwNxJENRQLyFGN|!~NySQz’QxySNRyLz!Q’R~F||FGJ|N W ~NFRLxN~NGy # (*B)0-?+ DLFzxFGy%EwSQyQN|N{yxE{zNyN{yQxR %N~E{QGzL{yQx|FRNx PLF|F}ERR~F||FGJ|N~NFRLxN~NGy 测试 系统的光学 原理 如图 所 示 半导体激 光器 ( 引 言 发出 的光经 准 直后 变 为平 行 光 然 后 由会 聚透 镜经 偏 * ’ 振分 光棱 镜 波 片变 成圆偏 振光 后 聚焦 到平面 反 +-% ’ 角度 测 量是