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红外椭圆偏振光谱及其应用.pdf
4 3 Volume 4 Number 3
1998 9 A NALYSIS AND T EST ING T ECH NOLOGY A ND INST RUMENT S Sep. 1998
( 129~ 137)
*
* *
( 130022)
阐述了红外椭圆偏振光谱( Spectroscopic Infrared Ellipsometr , 简称SIRE) 的原理技术
和发展对国外SIRE 的应用做了介绍并给出 分实例共收集文献29 篇
傅里叶变换红外光谱 椭圆偏振 表面和薄膜测试
O657. 33
1
, SIRE
[ 1]
1890 , Drude ( : ) ,
, 1~ 2 ,
[2] [ 3, 4]
70 ,
, , ,
, ,
SIRE
[ 5]
Beattie ; 80 ,
4000~ 200cm- 1( 2. 5~ 50m)
[ 6]
2
, ,
, ,
,
[ 2]
, :
2 2
( E X/ A X ) + ( E / A ) - 2( E X/ A X) ( E / A ) cos= sin ( 1)
E X E x E X E
*
* *
: 1997- 12- 25; : 1998- 03- 08
130 4
A , A A A A , A A , A = -
X X X X P
( P W )
S P S
,
2. 1
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S A A , = -
X P S
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= AX/ A = tanexp[ i] = ( AX/ A ) exp[ i ( P- S) ] ( 2)
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