纯水及超纯水手册【第1辑】.pdfVIP

1 纯水/超纯水问题合辑 第 1 辑 本辑手册的所有内容均来自纯水/超纯水专帖，许多水友在该帖中提出了 精彩的问题，水友的答案更是精辟。所以在此将大家提到的问题总结归 纳，以便大家更加方便的利用论坛资源。在此，真诚的感谢所有参与者 的热心，希望大家可以真正利用好水世界这个平台，一起交流，相互学 习，共同提高！本手册为第 1 辑，以后会定期将后续的帖子进行整理， 作为第 2 辑第 3 辑供大家下载。在这里尤其要感谢 hong6601，对许多帖 子都给出了很精彩的回复，真的很棒！ 编著：rain2007 2010 年 12 月 水世界网站 期待您的光临 2 1. 超纯水用的氮封水箱的所需氮气量是怎么计算的？ Rain2007 ：超纯水箱的氮气用量，没有数据时就按照用水量估算，但是实际气体 的消耗量比那个值小。可分两种情况：恒液位控制和变液位控制。计算软件请参 见该帖第 9 楼的附件： /bbs/viewthread.php?tid=180064extra=page%3D19 Monkey0239 ：最大供气考虑极端情况就即可。 假设水箱体积V ，水箱高液位的时候，前面停止制水，用水点一直满负荷用水直 至水箱低液位，假设最大用水流量为Q1 。然后用水点停止用水，以最大负荷制 水，假设最大制水流量为Q2 。这种情况耗气量最大，一个周期的的时间为T=V/Q1 + V/Q2 。供气瞬时流量能达到Q1 即可，一般设置空气储罐，平均供气能达到V/T 即可，平均供气就是V/T*安全系数 2. 对于超纯水装置，后道处理，如精混床等及相关设备初期的金属离子析出， 金属罐槽如何选择材料等级？ Hong6601 ：后期的处理装置一般就是 TOC 、抛光混床。TOC 本体材质不锈钢 316L，抛光混床材质FRP 内衬PVDF 3. 制备超纯水时，冷霜版主是倾向于混床还是 EDI ？ Hong6601 ：具体要看是那个行业的，太阳能行业基本都是选择 EDI 处理，热工 行业基本选择混床处理。 Rain2007 ：其实我本人比较倾向于 EDI ，因为属于清洁工艺。 Mxl1001 ：目前规模较大的太阳能生产用纯水多数选用的还是混床，最主要的是 企业设备一次投入低，业主容易接受，半导体生产用纯水也同样如此；对于 8 英寸及以上的半导体晶圆生产用超纯水，其对水中的金属离子、硅、TOC、溶氧、 颗粒等要求极高，因此工艺的确定和最终设备及管道的选择至关重要，设备内衬 及管路基本都是 PVDF 甚至 PTFE 的！ 4. 抛光混床用FRP 内衬PVDF 和不锈钢的话那个价格更有优势，同时处于终端， 压力较高的话 FRP 耐压是否适合。如果用不锈钢的话，初期 zn,ca,na 等析出又会 水世界网站 期待您的光临 3 如何？ Rain2007 ：FRP 内衬PVDF 价格比不锈钢略高。不锈钢要求用抛光级的，所有在 处理步骤在出厂之前完成，保证使用时没有金属离子析出。 5. 实验室用超纯水机要用什么树脂来处理才能达到超纯水？一升树脂的处理水 量能有多少？ Rain2007 ：超纯水要具体看你的水质，究竟什么品质的水叫超纯水尚无定论。其 次，一升树脂的处理量是多少也要看你用的什么树脂呀。世界上还没有那么牛的 树脂:：进去是自来水，出来就是 18.2 兆的超纯水吧…… 6. 终端水质要求到什么水平的时候，要用终端 UF 而不是终端过滤器，或者说终 端 UF 相比滤芯优势在哪里？ Rain2007 ：终端UF 虽然很贵很贵，其实也只是用来去除particle 的。当你对particle 的颗粒要求非常高的时候，必须用终端 UF 了。因为 Filter 不可能达到那么那么 高的要求。根据我的经验，0.1um 颗粒要求小于 10pcs/L 时，必须设计终端UF 。 7. 终端 UF 的膜材质有要求吗？普通预处理用的 UF 就行了吗？我看好多的都用 旭化成的。 Waterlover：终端 U