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白光干涉测量的2种方法 光程补偿法 波长扫描法 光程补偿法 总结：2个干涉仪，一个传感，一个工作在扫描状态，在2干涉仪的光程差相同时，获得最大干涉条纹。或者扫描干涉仪的一个臂，在两臂光程差相同时得到最大条纹。缺点：只能实验室使用 波长扫描法 宽带光源注入干涉仪， 测量光谱中的周期波长间隔 波长测量法中，用光谱仪获得的光谱 波长扫描白光干涉测量中的问题： 一、光谱仪昂贵，且不便于仪器化。一般有2种解决方案： 1、基于CCD阵列的光谱仪结合Fizeo干涉仪，或玻璃衍射光栅。但CCD在1um无响应，与光纤系统的发展趋势不吻合 2、用可调谐F-P滤波器，或基于此的光纤激光器进行扫描，获得白光光谱，更适合仪器化和工程化 二、白光光谱呈正弦分布，不能准确的测量出峰值处的波长 波长扫描白光干涉光谱获取技术 光谱仪和可调谐滤波器采集光谱比较（M-Z干涉仪） 传统的OPD测量方法 傅里叶变换频率法 北京理工大学： OPD测量中的相位测量技术 白光干涉相位测量术原理 目前已经研究的基于相位解调的 白光干涉测量术 傅里叶变换白光干涉测量术 傅里叶变换白光干涉相对测量术 波长扫描白光干涉测量术 相移白光干涉测量术 白光干涉正交测量术 1.傅立叶变换白光干涉测量 实验结果 傅里叶变换白光干涉测量术复用2个传感器 傅立叶变换白光干涉相对相位测量术 原理（略） 2:波长扫描白光干涉测量术 解调原理 测量的相位与傅里叶变换白光干涉法的比较 3.相移白光干涉测量术一 3.相移白光干涉测量术二 测量温度 测量应变 连续加应变时与频率法的比较 4.白光干涉正交测量术 目的：解决短光程差的干涉仪光程测量 号外： 北京理工大学推出 光纤可调谐FP滤波器（OFTF） 性能 自由光谱区宽度FSR：75?5nm 3dB线宽??=0.1~0.15nm 精细度F=600-700 损耗Loss=3dB FSR=74.6nm 3dB线宽：0.08nm 正交信号的李萨如图 正交解调算法 双谱峰追踪法波动±170nm 正交法波动为±80nm * 1. 2. 3. OPD与某一个峰的波长变换 *
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