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螺杆泵电机 加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实 际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。 5.分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵 作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在 分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这 种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事 业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分 子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。 国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用 干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。 为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵 【G型单螺杆泵】产品: 【G型单螺杆泵】产品简介： G型单螺杆泵在发达国家已广泛使用，国外多数称单螺杆泵为 “莫诺泵” 《MONOPUMPS》，德国称为 “偏心转子泵”。由于其优良的性能，近年来 在国内的应用范围也在迅速扩大。 它的最大特点是对介质的适应性强、流量平稳、压力脉动动小、自吸能力高，这是其它任何泵种所不能替代的。 我们对国外 （如：德、英、法、日本等国）生产的单螺杆泵及国内同行业的产品，作了分析与研究，博取众长，对自己的产品进行不断的 改革创新。目前我单位的产品已自成一个体系，压力为0.6~1.2MPa,特殊要求压力可达3MPa，可满足广大用户对单螺杆泵的不同需求。 我单位生产的泵，质量可靠，实行三包，价格也相对较低，同时确保备品备件的正常供应。 本单位热忱为广大用户服务，接受用户对特殊要求单螺杆泵的设计和制造任务 【G型单螺杆泵】型号意义： 【G型单螺杆泵】工作原理与特性： G型单螺杆泵是按迥转啮合容积式原理工作的新型泵 。主要工作部件是偏心螺杆 （转子）和固定的衬套 （定子）。由于该部件的特殊几何开头分 别形成单独的密封容腔。介质由轴向均匀推行流动。内部流速代低，容积保持 不变。压力稳定,因而不会产品涡流和搅动。单螺杆泵被广泛用于 各行业输送各类介质，恒压连续运行，无脉动，介质输送无破损，通过调节转速改变流量从而达到计量的目的。本产品适合输送具有以下特性的 介质：固体含量高(最大粒径可达150mm)或无固体含量|各种粘度(1mPas-3百万mPas)的介质|触变性和易膨胀性介质|剪切敏感性介质|磨蚀性介质 |有/无自润滑性的介质|腐蚀性介质(pH=O-14)|粘结性介质|有毒性介质|流量大、压力高 ·流量范围从每小时几毫升到500m3(2200gpm)·压力范围 最高可达48bar，特殊设计可达72bar。同一种传动部件可与四种不同设计的转子/定子匹配，为您提供最佳使用方案。 针对不同的应用领域，选用不同的金属材料，从铸铁、镍铬钢到耐酸材料、哈氏合金及钛合金。弹性材料可选用耐磨的、耐油的、耐酸的、 耐碱的橡胶，如天然橡胶、丁晴橡胶、乙丙橡胶及氟橡胶等。对磨蚀性强的介质，可选用陶瓷或塑料。当介质因高温或含有某些化学成分而不能 选用弹性材料时，可选用硬材质定子或刚性定子。各种轴封形式：按客户的要求，机械密封从单端面机封(带或不带急冶)、双端面机封(背靠背式 及串联式机械密封)到盒式密封；也可选用填料密封、水封环及特殊密封。对有毒介质可提供无泄漏磁力传动。 【G型单螺杆泵】性能特点： ·最高吸上高度可6米水柱 ·可双向旋转，双向输送（需配备反转定子） ·安装方式灵活. ·运行顺畅、平稳、噪音低、无脉动、无剪切 ·输送介质温度范围-20℃～+150℃ ·单螺杆泵零件少，结构紧凑，体积小，维修简便，转子和定子是本泵的易损件，结构简单，便于装拆。传动可采用联轴器直接传动，或采 用调速电机，三角带，变速箱等装置变速。不同的螺杆泵其具体使用场合亦有所不同。 【G型单螺杆泵】结构图： 1 出料口