光刻胶制备工艺技术手册.docVIP

1 1 光刻胶用剥离液组合物 2 6 光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法 3 6 光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法 4 4 反射防止膜的光学常数的决定方法和光刻胶图形的形成方法 5 2 光刻胶组合物 6 0 光刻胶组合物 7 6 用于深紫外线辐射的光刻胶组合物 8 3 化学放大型正性光刻胶组合物 9 X 检测光刻胶剥离过程终点的方法和装置 10 X 化学增强光刻胶及一种光刻胶合成物 11 8 光刻胶图案的形成方法和光刻胶层合体 12 3 光刻胶剥离剂组合物 13 3 光刻胶层中减小图案大小的方法 14 3 具有酸反应性基团的新颖含氟聚合物以及使用这些材料的化学增幅型光刻胶组合物 15 1 光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法 16 2 光刻胶去除剂混合物 17 1 负作用化学放大的光刻胶组合物 18 9 环状锍和氧化锍及含有它们的光致酸生成剂和光刻胶 19 2 感光性树脂组合物、使用它的感光性元件、光刻胶图案的制造方法及印刷电路板的制造方法 20 1 光刻胶剥离组合物及清洗组合物 21 9 用于剥离光刻胶的组合物 22 9 用于深紫外线的光刻胶组合物及其方法 23 4 用于形成防反射膜的涂布液组合物、光刻胶层合体以及光刻胶图案的形成方法 24 9 包括氟化铵的光刻胶去除剂组合物 25 5 光刻胶剥离除去方法及装置 26 3 用于有机硅酸盐玻璃的低K蚀刻应用中的蚀刻后由氢进行的光刻胶剥离 27 0 将干燥光刻胶膜层热层压到印刷电路板上的方法 28 0 稳定的离聚物光刻胶乳状液及其制备方法和应用 29 4 超强酸催化的无显影气相光刻胶 30 6 有机碱催化的无显影气相光刻胶 31 2 用于微电子的无胺光刻胶粘接促进剂 32 稀土顺式聚异戊二烯负型光刻原胶的制备 33 含光刻胶的废液的处理 34 彩色显象管荧光屏的形成方法和光刻胶的组合物 35 3 彩色显象管荧光屏的光刻胶组合物 36 3 在光刻胶中使用多支线型酚醛树酯的方法 37 0 制备用于高分辨率光刻胶组合物的高玻璃化温度线型酚醛树脂的方法 38 1 正向作用的光刻胶 39 9 光刻胶和光学应用用的低光密度聚合物和共聚物的制备方法 40 X 含有非离子氟代烃表面活性剂的水性光刻胶 41 9 含有氨基丙烯酸酯中和的粘合剂的带水光刻胶 42 7 光刻胶剥离液管理装置 43 8 形成光刻胶图形的方法 44 3 具有联合增稠剂的带水光刻胶 45 3 正性光刻胶 46 9 检测涂敷在晶片上的光刻胶膜微观厚度差的方法 47 1 光刻胶剥离液管理装置 48 7 光刻胶组合物 49 2 在半导体器件上形成光刻胶膜的装置及其形成方法