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氟原子在高温非平衡条件下亲电动力学的实验研究 王苏，崔季平，何宇中，范秉诚 中科院力学所高温气体动力学开放与研究实验室北京100080 newshock Abstract：Toelectronattachment tubemethodis study kinetics，a applied，in thetest reflectedshock which isionizeda w桃and a gas by subsequentlyquenchedby rarefaction of is attachmentisin wave．Asthc 10‘刖sreached，the strong speed quenching usedto state the elecCcstaficis monitor non-equilibrium Langmuir probe duringprocess．A the atthe Va／i碰01]oftheion reflectionshock ofthe numberdensity region．mM她state is atthe sheathisintroduced．Atthe collisioncorrection probeanalyzed，and probe inan to and ambianceof 1200 22∞K range argongas．the temperature three-body rate atom attachmentc∞塌cientoffluorine andelectronis determined： of dependence 七，(F+e+。d，—}F’4-．dr)=1．29×lO一2T．‘赫c埘6罩一．’n碡temperature e|eclzonattaehraentrate isdiscussed． coofficient 一．引言 由激波气动加热而产生飞行器表面含氟聚合物材料的烧蚀、解聚，其中 的解聚产物氟原子吸附电子反应将改变飞行器周围等离子鞘层中的电子数密 度，从而影响飞行器周围流场的电离度、雷达散射和红外辐射特性。氟的亲 电特性也是材料表面含氟等离子刻蚀工艺及气体放电技术经常讨论的命题。 目前关于亲电特性的实验研究集中在室温000K)和高温(4000K)两个温度区 域。采用质谱方法可以获得室温下的结果，使用激波管技术Ⅲ和电弧放电技 术Ⅲ则可进行4000K以
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