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极紫外多层膜残余应力初步研究.pdf
第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! # $%’!(%’# ! ! ! 年 月 ! )**+ # ,-., /0123 45623 5(7 /538-942 :25;6 ;=’)**+ ! ! 文章编号! # !**!?#)) )**+*#*#*? ! 极紫外多层膜残余应力初步研究 向 鹏! 金春水! 张立超! 金伟华! 刘颖敏! 曹健林 ! ! ! ! ! ! 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室!吉林 长春 # !#**## 摘 要! 针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断$极紫外光刻等方面的应用!进行了 % 多层膜残余 ;%6@ !! ! ! 应力的实验研究!讨论了多层膜残余应力的成因实验结果表明’ 单层膜表现为张应力! 单层膜表现为 ;% 6@ 压应力(通过传统方法制备的 处高反射率的 对 % 多层膜会产生 左右的压应力!其 !#’*AB ?* ;%6@ C+**;/ 压应力主要是由膜层之间的贯穿扩散引起的(通过改变膜层比率可以在一定程度上补偿因贯穿扩散产生的压 应力!但是以牺牲多层膜反射率为代价 关键词! 极紫外( 多层膜( 残余应力 ! ! ! ! ! 中图分类号! 0?D? 文献标识码! 5 ! ! ! ! ! ! ! ! 随着科学的进步!激光等离子体技术已成为当前一个重要的研究领域对于惯性约束核聚变 #$极紫 -9E !! 外激光等前沿学科领域相关的大尺度稠密激光等离子体!由于理论的不完善!精确的数值模拟还需要利用实验 结果进行校对这就需要获得时间分辨率和空间分辨率分别达到 和 量级的等离子体状态参量 由 !* G B F ! 极紫外半反半透多层膜分束元件构成的 干涉仪进行临界面附近激光等离子体电子密度分布的 ;HIJKIALK= ) * ! 干
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