微机电系统双压电薄膜压力传感器.pdfVIP

下载本文档

4
0
约1.38万字
约 5页
2017-08-12 发布于安徽
举报
版权申诉

微机电系统双压电薄膜压力传感器.pdf

1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第18罄增刊宁波尢学学报(理工版j Voi】8 Sup 2005年6日 OF JOURNALNINGBOUN【vERSITY【NSEE June2005 文章编号：1001-5132(2004)Sup-0071-05 微机电系统双压电薄膜压力传感器孙博华1，张睿2 (1中国暨南大学国际学院和理工学院，510632 2．商非开普敦开普半岛技术大学，智能结构与微机电系统实验室j 摘篓：使用压电薄膜(PZT)制造微机电系统传惑器具有结构简单、灵敏度较高的特点，所以其研究受到了很走的关注．本文研究了一种在硅基上铺设单层压电薄膜的粱式压力传感嚣．在这个模型中考虑了薄膜的几何尺寸和弹性性能，对该结构用有限元进行了模态分析，然后叉推倒出压力传感嚣解析方程．这个方程给出了电荷和压力之间的定量关系，在此基础土，还给出了是敏度的计算．研究袁明这种简单结构便于制造，可靠性强，可以承受比较大的压力P．关键词：压电压力传感器：徽机电系统：灵敏度；压电薄膜中圈分类号：TP39t 文献标识码：B Ⅳ哐MSAccelerometerWith1、．vOThinFilmPiezoelectric Read．OUt Rui SUN130—humZHANG l School ofScienceand JManUniversi睢,InternationalandCollege Engineering,Goangzhou．510632，China 2CairoPeninsutaUawemi斗ofTec‰l093,SmartStruCturewadMENSmCapeTown，7539SoutttAffma) Abstract：MEMSaecelerometer leadzirconatetitanatefPZI、)thinfilmsasread-OUt]lavebeen usingpiezoelectric attracted“great structures amodelofmicro attentionduetotheir simple andhighsensitivity．Thispaperproposed pressure flexure[PZT-on-siliconbeamsThe andelastic ofthethinfilmshavebeentakenintoaccotmtwhen geometry properties formulating is the whichvibrationmodethedominateoneoDthe hasbeencaniedottt acceleration-equation．Toveriry press，modeanalysis by The between has aA MEMSs