纳米类金刚石薄膜的制备和性能研究.pdfVIP

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2017-08-12 发布于安徽
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纳米类金刚石薄膜的制备和性能研究.pdf

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纳米类金刚石薄膜的制备及性能研究李红轩徐洮陈建敏周惠娣刘惠文 (中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州730000) 摘要：利用宣流．射频-等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制各了纳米类金刚石薄膜。采用原子力显微镜、Ramarl光谱、红外光谱研究了薄膜的表面形貌和微观结构，并初步考察了薄膜的摩擦学性能。结果表明，制备的薄膜具有典型的类金刚石结构特征，该薄膜具有良好的抗磨减摩性能。关键词：等离子增强化学气相沉积；觏米菪金刚石薄膜；摩擦学性能＼^。 onthe and ofNanoscale Study PreparationProperties Films Diamond-likeCarbon Li Huiwen Hongxuan，XuTao，thenJianmin，ZhouHuidi，Liu (State ofSolid InstituteofChemical Lubrication,Lanzhou Physics， KeyLaboratory ChineseAcademyofSciences，Lanzhou,730000，China) diamond-likewere onSisubstrate Abstract：Nanoscalefilms successfullydeposited by DC-RF-PECVDmethod．Thesurface and tribologicalproperties morphology,microstrucmre ofDLC were atomicforce films investigatedrespectivelyby andUMT-2MTandwear results spectroscopy,infraredspectroscopy friction testing．The showedthatthefilms DC-RF··FECVDhad diamond··likecharacteristics producedby typical and and behavior． good antiwear friction-reducing DLC Keywords：PECVD，nanofilms，确bological properties 1．引言类金刚石(diamond—like carbon，缩写为OLC)薄膜具有高硬度、低摩擦系数、高耐磨性以及良好的化学稳定性、导热性、电绝缘性、光透过性和生物相容性等优异性能，其作