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VHF—PECVD沉积微晶硅薄膜的电学特性
和结构特性研究
张晓丹朱锋侯国付 熊文娟孙建赵颖耿新华 熊绍珍
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071
摘要:本文研究了用甚高频等离子体增强化学气相沉积方法(VHF_PECVD)制备的不同硅烷
浓度(SC)条件下的微晶硅薄膜样品。随着SC逐渐增大,样品沉积速率也逐渐增大,实验中最
大速率可达20A/s;研究了样品的暗电导率及其光敏性(光电导/暗电导)随SC的变化情况.
结果表明:在本实验条件中非晶/微晶过渡区发生在6%~7%之间;用室温的微区拉曼光谱进
行了薄膜微结构的分析与研究,用高斯函数对其解谱分析得到随SC的增大,晶态比X。是逐
渐减小的。
关键词:任高频等离子体增璃化学气相沉积氢化微晶硅薄膜拉曼散射谱晶化率
7
、 X
atdifferentsitane VHF—PECVDwere
Abstract:samplesdeposited concentrations(SC)by
morethe morethe rate,themaximumcanachieveabove
studied.TheSC,the depositinn
resultsofdark and of showedthatthe
20A/s.The conductivity
photosensitivitysamples
transitionzonetook between were
6%and7%.Inaddition,Micro—Raman
place spectra
to and the ofthe the
used structural
analyzeinvestigate propertiessamples.Decomposing
Raman Gauss canbeconcludedthat volumefractionofthe
by function,it crystalline
spectra
withthedecreaseoftheSCwas
gradually
samples improved.
enhanced
chemical
frequencyplasma vapor
Keywords:Veryhigh
Raman
microcrjstaUinesilicon(t』c-Si:H)
Hydrogenated scatteringspectraCrystalline
V01Limefraction
相沉积(HWCVD)及甚高频等离子体增强化学气相
1引言
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