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ofVibrationandShock Vol25NoS2006
蕈25卷第s期 振动与冲击蛔al
超声引线键合系统键合工具动态特性研究
冯武卫范虹孟庆丰
f西安立通大学轴承研究所,西安710049)
毓蔓车姗究了微电子驽装超声引趣键告幕统键台工具的动态特性。运用有限单元法建立丁键台工具的动志接触模
型.研究丁健台工具的幅值响应和接触摩擦特性,通过对键合工具施加不M的加啦颧率和静压力进行计算,分析了键台过
程中加茕频率和静压力的变化对键合工具幅值响应和接触摩擦应力的影响,得山加蛾频率和静压力的变化对键音工具动态
响席的变化曲线。本文的研究为掌握超声引线键音机理和键合过程故障诗断拄东研究提供参考.
关键字£超声引线键合,接触分析,千J限元.键合工具
中图分娄号:THl7。TP306文献标识码r^
RESEARCHOFDYNAMICCHARACTERISTICSOFCAPILLARY
BONDING
WIRE SYSTEM
WuweiFan
托7w HongMengQinffeng
ofMecbaulcal
(SChool Umvmity.Ⅺ’all710049)
Eng妇ering,Xi’anJiaotong
characteristicsof ofultrasonicwire inmicroelectric wmstudied.A
Abstract:Dyr日mic capillaxy bondingsystem package
and friction
confatetmodelof w“builtbytjllhelementmethod.Vibrafioaresgonsecontagt
dynamic capillary propcr}yof“
tothevibration andcoflllct
calculated.Theeffectsofthe andsta6.c force response
oapilta叫is loadingfrequency comTges£ive
frictionSIgCSSwmobtained various andstaUc forces∞the
througlaapplying loadingfrequenciesoompressive capillat7.恤
betweenthe static forceandthevibration were workcⅢIbe
relationships loodiagfrequency,thecompressive responsegiven.The
usedas the mechanismandthe offault for
Kf。11ence$forabetter of dtagnoso
hnvmg understandingbonding study techniques
bonding
pro
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