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中国科协第五届青年学术年会陕西卫星会议论文集 新材料与先进制造技术 量数据将是主轴系统误差Z(矾)和标准半球圆度误差G对m可尽可能取得大一些,这样通过多次测量尽量将随机 (仇)的合成误差丁(口i) 误差对测量结果的影响降到最低. 丁(目f)=±Z(g)+G(只) b数据处理①计算出所有测最值极径的平均值,② 分度指示台相对于仪器主轴旋转2nrad后,将得到一将该平均值与原始采样的极径进行相减,求出每一次测量 列完整的矩阵方程.用计算机求解该矩阵,就可将仪器主轴 中每一点的偏差.③再将每一点的多次测量值取平均,消除 系统误差和标准半球圆度误差分离出来. 随机误差的影响. 2)再将玻璃半球相对工作台正向旋转一定的角度a, 2主轴回转非周期性误差运动与半球圆度误差的 固定于工作台上,进行与l中同样的测量和数据处理. 分离 3)画出两次测量的误差曲线,再对它们进行分析. 4)通过在TY290型圆柱度仪上进行如上实验,将第 该种方法的主要思想是“在适宜的环境下通过多次测 二次测量的平均圆度误差曲线再反向旋转a角之后进行比 量,用误差平均的方法可使随机误差减小或基本抵消.该方 较,比较图如图2,发现两曲线走向基本一致.且极径变化 法的实碴性与论述如图1所示. 值也相当.这样就能证明通过多次测量用误差平均的方法 将’r球f^1定J‘1 榭’p球旋转u们J业,l胡 就可以基本消除主轴回转的随机误差. f1 {1fi讥 化性 ji三j’I fr铘:ft饩 多玖涣4聃‘1,肺叫度 多次测I计’n球I堋『延议 跌矗jf聚“数槲(p.“ 置判浆fr数槲(押+lj) 求所仃测IIl,_的总均 水所订测IlI^fn总均 ~¨ ,‘…t 们Aver。嚆暑9。) _fJ[Aver。I与点p.) 计竹 J‘^ff,J偏船 汁竹似 ^竹偏芹 们ERR.,·p。·Aver lERR。。p,Aver 固2两次平均误差曲线图 il竹多次i划lIt·l·舢I 仆弹彩玖洲Ili-I·.¨ l-d位W卫{rJI位船 VtI证?C粟Hn铖狰 3结论 的9姐(肄RR。)Ira 的攀竺‘癸RR。)Ira J;I,2…n’。 J=I.2…n’’ 通过以上论述,得出如下结论:在圆柱度仪上测量高精 度被测件时,主轴回转误差的分离可分两步走,先可用多步 I叫…ⅢI上句漩篪曲纯lI l岫…、r均漤以lfff纯2 法进行系统误差的分离,其次可用误差平均的方法进行随 机误差的分离。这样就可更加合理正确的评估被测件真实 镀锌篷登薪晰鳍繁近卜—一粪警牿磕2反““旋 的误差值, 图l。误差平均方法流程田 该实验是在Tl也90圆柱廑仪上进行的,该仪器测量是 参考文献: 当被测量件随着工作转台旋转时其半径微小的变化量来反
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