HgCdTe%2fCdTe界面组分互扩散探究.pdfVIP

HgC,dTe／CdTe界面缀分互扩散研究 巫铯扬建荣陈新銎方维政王善力子海芳乔嗡敏诃力 r平重科学筑上鲁{=乏墨砌莲听宄所．耐劳?心·上·每2060S：： 摘要：本z尝试椭_[I：i：则量的方法，通。时H酊dTe c斗艰据三 连结果对：a叭。曲提出j‘麓毫盘公式进rj岵互，虽冬辩劐4901C笆身’?豆∥教东垃 x 10～x1．0‘、 t0式一J Dfx、=4 美盈词：H西iTe＼18E廿迁f彤．蔼，置j基必．Ⅲ，置扩敏 一、号l言 度而变化，膨婀嚣，hjl一：}皇琵．如稳定丝、曝声、探测率等：“。另外．箍着红外探测器的 向组分分布以及组分亘扩教系数。 二、实验 本研究所胡的椭一；；；剐饿}没等造戈困J．A Multi．Wavelength 此程序还可辩测世结果廷ij数值分昕手¨拟台， 用密封的年i英管／K平式退火装踅，4：堪：k垃捧中．为了防lr 490℃退火。A16摊-话遐一足0．5小aj，B09#羔t臻退火2小时。 够测量得到足够多的专，使川浓废锐乃懦钧O 蚀液对HgCdTe样rW，舵锚蚀越辜遥恒定的。 为了验证黼偏测譬组甘分芾的正确性．本实验对爝蚀前的研科用红外透射光谱遘于亍测 苗．井与椭偏测嶝的结累进行比较． 兰、结果与讨论 分别对516_葶ll 圉1。 翌 ∞ 『、 ， 18 一一 16 工14 、 ?， 一 2 ．．． O ，j～ 一 瓣■D ．， 8 阻龆∞琵∞弘矗为∞i8钳 1’6 18 20 26283。 22ev24 豳1．h16样品腐蚀1小时的椭偏测量与模型拟台 A16样品(退火0．5小时)组分随腐蚀时间的变化如图2．a所示。B09样品(退火2小时) 组分随牖蚀时间的变化如翻2．b所示。把各个不同腐蚀时间得到的光谱进行拟台．得到一条 缨分随腐蚀时间的变化曲线。见图2。 曲线有较多毛刺．实际上组分应是一条缓慢变化的曲线，所以应对实验曲线用数学方 法加以平滑。 对于渣相外延(LPE)样品，由于生长温度较高，其组分分布存在这样的关系6：： x(z)：上坚掣．t-fx。+sd)一Sz(公式二) ’