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2017-08-19 发布于重庆
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基于UV_LIGA技术制造微结构器件试验研究.pdf

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1721 2006 11 UV- LIGA 1, 2 1 1 1 明平美朱荻胡洋洋曾永彬 1. 南京航空航天大学, 南京, 210016 2. 河南理工大学, 焦作, 454000 : 试验研究了UV- LIGA 各工艺环节( 括前后烘曝光显影去胶电铸等) 对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响, 并组合优化了操作条件和工艺参数试验结果表明: 采用优化后的UV- LIGA 工艺条件, 制造出的金属微结构器件( 如微齿轮微流道) 轮廓清晰, 表面质量好, 无明显缺陷, 与基底结合良好 : UV- LIGA; ; SU - 8 ; ; :T M56 : 1004 132X(2006) 21 2216 05 Experimental Research on Fabrication of Micro- structures Micro- devices by UV- LIGA 1, 2 1 1 1 Ming Pingmei hu Di Hu Yangyang eng Yongbin 1. N anjing U niversity of Aeronautics Astronautics, Nanjing, 210016 2. H enan Polytechnic Universtiy,Jiaozuo, Henan, 454000 Abstract: This paper studied experimentally the influences of processing steps of UV- LIGA , in cluding before post exposure bake, exposure, development, resist removal, micro electroforming, on the quality of micro- structures micro- devices fabricated on metal- substrate, and optimized their operation conditions and processing parameters. Experimental results indicate that the metal mi cro- structures micro- devices such as microgear and micro flow channel fabricated by the opti mized UV- LIGA processes has clear contour, good surface quality and excellent linkage with sub strate, and it has not visible defects. ey words: UV - LIGA; micro - structure micro- device; SU - 8 resist; photography; micro electroforming 0 引言 , ( micro electro mechanical sys , , tems, MEMS) SU - 8 UV- LIGA , 1 试验 , ,