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真空系统元件及连接 真空系统元件及连接 真空系统是由真空泵、阀门、捕集器、导管等各种元件通过不同的连接形式组成的，就是真空室也是由多个部件，多种不同材料的组件组建而成的。 一、真空阀门 一、真空阀门 ????1．概述????在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门。 真空阀门在真空系统中的作用： （1）开关气路 （2）控制气流大小，调节真空度 （3）定量充气 1、开关电路。如图13-1，当高真空阀2和前级阀4关闭，预抽阀7打开时，机械真空阀抽真空，气流流经预真空抽气管道。当阀7打开，机械阀可单独对扩散阀抽真空。当阀2和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽真空，此时气流刘静扩散阀。阀门在这种工艺操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。 2、控制气流大小，调节真空度。调节阀门2的阀盖的开启角度，即可调节流经光路的气流量大小；关闭阀2和阀4，通过放气阀6可以给机械阀的入口放气；通过放气阀6可以调节容器内的真空度。 3、定量充气如图13-2，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶联通时，小洞中就可充满高压气体；当他转向左边和真空容器联通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。 真空阀的分类和型号 真空阀门的主要性能是他的流导、漏气率、开闭动作的精确性和可靠程度，以及阀门的开闭时间。 真空阀门种类很多，在设计真空系统时根据用途、尺寸、性能、结构等进行选择。国产真空阀门的型号是按其性能、结构形式、驱动方式、通道方式、及通道直径大小、材料和用进行分类的 真空阀门的型号按如下顺序和内容确定 真空阀门的工作形式 1、隔膜阀 图13-3为隔膜式真空阀，适用于真空系统的接通或截止，利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上来隔断气路。橡皮弹性薄膜上有一提钮，提起提钮通道接通，反之压紧截止。如转动手轮可带动阀杆上、下移动，使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜，适用于前级和与丑管道上及温度为-25~28℃的非腐蚀性气体。如采用氟橡胶隔膜，可用于高真空系统，使用温度范围为-30~150℃ 2、真空球阀 13-4为真空球阀的结构，该阀中的密封结构是有两个环状弹性体紧压于金属球表面构成。金属球上有一个大穿孔，借助于手柄转动金属球使穿孔改变方向，即可接通或切断气路。金属球轴杆与阀体间的密封采用O形密封圈密封。 3、真空蝶阀 蝶阀结构较简单，阀板的边缘上嵌有O形密封阀，阀板靠螺栓固定在传动阀门杆上，使阀杆带动阀板转动，当阀板上的密封圈与阀体紧密接触时即实现了阀门的关闭。从关闭位置始，阀板再转动90°时，阀门即完全打开，该阀门的主要优点是体积小结构简单。 气动蝶阀主要有阀体、阀板、阀杆、O形密封圈和气缸驱动机构（或手柄）构成，如图13-6.阀体的上下两个断面由O形密封圈分别与容器和泵口连接，阀板的周边嵌有O形密封圈，当阀板与阀体平行时，密封圈与阀体密接通道截止；当阀板与阀体垂直或称某一角度时，通道打开。 4、插板阀 图13-7和13-8是插板阀的两种结构形式。弹性体密封圈是嵌在阀体上。转动手柄打开或关闭阀门。插板阀关闭时是靠限位块的斜面压紧阀盖，进而压紧密封圈 5、挡板阀 右图为一种挡板阀的结构。该阀通过阀盖的开启和压下来实现管道的接通和截止。压板23使阀板密封圈24固定于阀盖上。压板2将阀杆3与阀盖连为一体。上盖20与阀体22有密封圈21密封。压帽5和7分别压紧密封圈4和8，实现动密封。汽缸盖11压紧密封圈10使气缸16上部密封。气缸与汽缸盖11压紧密封圈10使气缸16上部密封。气缸与气缸座17通过密封圈9密封。注油管18注入扩散泵油，以减小摩擦并帮助密封，进气管接头12从空气压缩机来压缩空气首先通过加油器19，从加油器中出来的气体含有一定的油，再进入换向阀6，最后进入气缸，一方面润滑油换向阀中的活塞，另一方面，防止气缸内表面生锈。换向阀控制起源进入气缸上下部。密封垫片13、华赛胶圈14、活塞15，将气缸分为两部分，并移动与气缸之中，从而控制阀门的开闭 6、翻板阀 下图为三种不同结构的真空翻板阀。他们利用压缩空气作为阀板翻转的动力源。在阀门发开或关闭的过程中，阀板的运动有一个翻转过程，能翻转一个角度。图13-10所示的阀门结构中，阀盖的翻转靠四连杆机构实现，阀盖能实现90°翻转。13-11的结构中，靠滚轮将阀盖档翻，此结构的发明阀盖不能翻转90°。图13-12的阀门结构简单，总高度低，阀板能翻转90°在翻板阀中，当阀板翻转90°是流导较大 真空挡板阀和翻板阀在操作使用时应应该如下事项： （1）启动时阀盖上方必须是真空状态； （2）发该关闭时，阀盖下面不允许承受大气压； （3）本系列各阀门均应垂直使用； （4）