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第 卷 第 期 半 导 体 情 报
牟 月
第三代 电子材料 氮化稼
—
李栓庆
, ,
电子部第 研究所 石家庄 。 。。
摘要 简要介 绍 了第三 代 电子材 料 纤锌矿 氮化稼 的化 学特性 、 结构特性 、 光 学
特性 和 电学特性 。 讨论 了材料 生 长技术 和 制 约氮化稼研 究的衬 底材料 问题 。 最
后 给 出 了氮化 稼 材 料 在 蓝光 发 扮 器 件 高温 、 大 功 率 和 微 波 用 以及
方 面 的应 用情况 并展 望 了未 来前景 。
关键词 纤锌矿 氮化稼 , 蓝光 发 射器件 , 衬 底 , 发 光 二机 管 ,
己 , , , , 口 , ,
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