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粒子测试结果(ＳＨ２００Ｃ） ８Ｇ抓手　布局图 新一代机器人控制装置AX Controller * * 大型玻璃基板搬运用机器人Ａｒｔｉｓ系列 Class 10 上下活动空间 2.8m 前后活动空间 4.5m SJ120C 第8,9代 对应机型 SH133C SH200C SJ80C 第6,7代 对应机型 SJ25C 第5代 对应机型 Class 10 上下活动空间 1.6/2.2m 前后活动空间 2.4m SJ 系列 上下屈伸型 玻璃搬运 机器人 Feature Series / Model Class 10 上下活动空间 1.8 / 2.4m 前后活动空间 3.7m Class 1000 可搬重量 133kg/150kg 6 自由度 (可对应垂直放置 的布局) SHC 系列 垂直 多关节型 CLEAN ROBOT 一览 CLEAN ROOM的对应 垂直多关节型机器人 Ａｒｔｉｓ ＳＨ-Ｃ 系列 　　　　　　　　　　　　 　　ＳＨ１３３Ｃ　　　　　　 　　ＳＨ２００Ｃ　　　　　　 机器人外观 　　　　　　　　　　　　 SH133C 133KG可搬6轴多关节机器人SH133C 应用案例 Spec. 1 [rad] = 180 / ? [°], 1 [N?m] = 1 / 9.8 [kgf?m] Note 1) During development, specifications may change without notice. 机器人外观 等级最大的可搬重量、允许扭矩 　　可搬运玻璃基板等工件至空间狭小的箱体内 　　可搭载高刚性的抓手 → 最大限度的控制工件的弯曲变形?震动　　　　 较大的动作范围 　　可对应次世代的大型玻璃基板的垂直放置布局　　　 较大的手臂动作范围可实现工件各种各样的姿势 　　可实现玻璃基板的垂直型搬运 　　等级最大的手臂弯曲轴(B轴)可实现±１３５°的动作范围　 高性能高性能控制装置(以电脑为基础的AX控制装置) 　　比起监视控制,震动控制等实现了大型机器人厂家机器人的动作特性　　　 　　　　　　　　　　 特长 Operational area including wrist bending axis(B-axis) Vertical operation area comparison(+/- 135deg. and +/-125deg.) Difference between  +/-135deg. and +/-125deg. Horizontal direction approx. 700mm wider(23%up) Vertical direction approx. 300mm wider(23%up) +300mm UP +700mm UP Horizontal operation area comparison(+/- 135deg. and +/-125deg.) (SH133C) 基本规格(与他社对比) CLASS 1,000 CLASS 1,000 CLEAN度 15 65.9 kg?m2 Ｊ６軸 51.25 117.3 kg?m2 Ｊ５軸 51.25 117.3 kg?m2 Ｊ４軸 手首允许 瞬间惯性 490 686 N?m Ｊ６軸 1,058 1,274 N?m Ｊ５軸 1,058 1,274 N?m Ｊ４軸 手首允许扭矩 2,446 2,674 mm 最大臂长 6 6 自由度 多关节型 多关节型 构造 CR165-200 ARTIS SH200C 他社 机器人型号 ２,５００ ２,２００ Ｃａｓｅ１ 强力型手首扭矩 第８代液晶用玻璃基板 【 ２５００×２２００×０.７ｍｍ（１１ｋｇ） 】 Offset J5軸允许扭矩1,058Nm × × ○ 他社CR165-200 J5軸允许扭矩1,274Nm ○ ○ ○ NACHISH200C 　 1,177 Nm 1,103 Nm 1,031 Nm J5軸负荷 扭矩 500mm 300mm 100mm 　 OFFSET 　 测试条件：JIS B8432 基准 位置重返精度 测试结果 ± 0.057 mm 综合 ± 0.032 mm Ｚ轴方向 ± 0.023 mm Ｙ轴方向 ± 0.041 mm Ｘ轴方向 重复位置动作的 变动（±３σ） 方向 测试机型 ： ＳＨ２００ ?测试环境 　CLASS 1000 CLEANROOM + CLEANCHAMBER ?测试位置 定期维护项目 ＳＨ－Ｃ系列的定期维护项目 ６年/次 机器人本体底座部 电池基板电容器更换 ３年/次 机器人本体底座部 电池更换 20