MOS器件时间关联辐射响应理论的研究.pdfVIP

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2017-08-31 发布于安徽
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MOS器件时间关联辐射响应理论的研究.pdf

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第卷第期原子能科学技术 ! ! # $%’! (%’# ! 年月 )* # +,%-./0123 6/.21/271892/:1%% ;71’)* ! 45 45 @F$器件时间关联辐射响应的理论研究罗尹虹!龚建成!郭红霞!石小峰西北核技术研究所!陕西西安 # ]#)! ! 摘要!利用响应函数对器件时间关联辐射响应几个物理过程的实验数据进行拟合计算!包括空穴 _M6 输运引起的短期恢复$深层俘获空穴引起的长期恢复以及界面态的长期建立%详细分析了俘获空穴的空间分布差异对退火响应的影响以及温度差异对界面态建立的影响%计算结果和实验测量值符合很好!表明该函数在响应分析中的应用是可行的% 关键词! 器件时间关联响应函数 _M6 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # 9(CE*D# + #*C#)*##* ! ! ! ! ! ! ?4,-2,(%5,/,*2%4-’?0,+,,’6,’( 3 5*6*(-’5,/-’/,-1@F$GH? 3 ! ! ! GKM P.1:%1 IM(I ;.71/:21 IKM T%1 O.7 6TH?.7%W21 4 4 4 4 ! ’ ! # *(.$0’#$!#$%$$’( *+,’-.?’+0(,( @%-]#)! 30%- ) 71 ( 9:/(2*%( L2V%1V2WJ1/,.%1.VJ,..d28,%W.,2O 23.-21,787,7W%3V2Y237.- %3,71, ! Q Q Q : V./7 3%/2VV2V%W,.378.7,.%1 32V%1V2%W_M6R09!.1/J8.1 ,:2 Q 5 Q Q Q 4 ! V:%3,,23- 32/%Y23 8J2,%:%2,371V%3, ,:2%1 ,23- 32/%Y23 8J2,%,37 28:%2 5 Q 4 5 QQ :2%1 ,23- UJ.8