基于微转换器的MEMS传感器研究平台论文.pdfVIP

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2017-08-31 发布于安徽
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基于微转换器的MEMS传感器研究平台论文.pdf

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第25卷第4期增刊仪器仪表学报 2004年8月基于微转换器的MEMS传感器研究平台于婷周兆英宋宇宁 (清华大学精密仪器与机械学系北京 100084) 员可以在PC端对数据进行研究，也可以对微转换器进行编程，对采集的原始信号进行实时处理，进而对各种需要验证的算法进行试验研究。关键词微转换器MEMS传感器USB接口 MicroConverterMEMS Platform Based SensorResearch Yu Zhou Ting ZhaoyingYuning Song instrument of and 100084，China) (Departmentprecision mechanics，Tsinghua University，Beijing A AbstractMEMSsensorresearch basedonmicro—converteris research platform ADpC832presented．The includes3dimensionaccelerometers platform and3dimension convertsthesesensors’ magnetometers．ADpC832 sendthedata tO data。and toa PC USB not can the digital desktop port．Users analogsignal through onlyprocess in can in dataPCenvironment。butalso it MCUembeddedin con— process ADtuC832 themicro by programming verter． wordsMicro—converterMEMSsensorUSB Key 1 引言 2微转换器随着MEMS技术的不断发展，MEMS传感器技术日趋成熟并逐步应用到各个领域。MEMS传感器具款性能优越的微转换器。它在单个芯片内包含了高性有体积小、重量轻、功耗低和可靠性高等优点，其中， MEMS压力传感器、加速度计、磁强计等是MEMS传感器中技术比较成熟且使用率较高的，针对这几种传感器研制的