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第 卷 第 期 上 海 有 色 金 属
年 月
文章编号
基于透射光谱确定硅碳氧薄膜的光学常数
张 平 李 晨 陈 焘 王多书
台州学院物理与电子工程学院浙江 台州
兰州空间技术物理研究所甘肃 兰州
摘 要硅碳氧薄膜是一种含有 和 三种元素的玻璃状化合物材料同时拥有碳化硅薄
膜及氧化硅薄膜多种优异的特性如热稳定性好能带宽折射率大硬度高和热导率高等是
一种具有潜在应用价值的新颖光学薄膜 基于硅碳氧薄膜的紫外可见近红外透射光谱采用
极值包络线法结合 色散模型建立了一套精确方便并适合于计算硅碳氧
薄膜光学常数的方法 方便地获得了硅碳氧薄膜折射率厚度等光学常数 并将厚度计算结果
与实际测量值进行了比较 结果表明试验中研究硅碳氧薄膜光学常数所采用的方法是合理
的能够准确地获得硅碳氧薄膜的折射率及厚度等光学常数
关键词透射光谱硅碳氧薄膜光学常数
中图分类号 文献标志码
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