动压气浮轴系刚度技术要求.docVIP

ICS点击此处添加ICS号 点击此处添加中国标准文献分类号 DB23 黑龙江省地方标准 DB 23/ XXXXX—XXXX 动压气浮轴系刚度测量仪技术要求 Technical specification for stiffness-measuring instrument of air-floated dynamic pressure bearing 点击此处添加与国际标准一致性程度的标识 （本稿完成日期：2013/11/26） XXXX - XX - XX发布 XXXX - XX - XX实施 黑龙江省质量技术监督局发布 目次 前言 II 1　范围 1 2　规范性引用文件 1 3　术语和定义 1 4　型式与基本参数 1 4.1　型式 1 4.2　基本参数 3 5　要求 3 5.1　外观 3 5.2　相互作用 3 5.3　主要技术指标 3 6　检验条件 4 7　检验方法 4 7.1　外观 4 7.2　相互作用 4 7.3　检验项目 4 7.4　旋转位移台回转误差 5 7.5　模拟轴表面粗糙度 5 7.6　仪器示值误差 5 7.7　仪器测量重复性 5 7.8　仪器测量复现性 5 8　检验规则 5 8.1　检验分类 5 8.2　出厂检验 6 8.3　用户检验 6 9　标志、包装与文件 6 9.1　标志 6 9.2　包装 6 9.3　文件 6 前言 本标准编制过程中主要依据GB/T1.1-2009进行。 本标准为新制定标准，目前没有与之等同的国际标准、国家标准及行业标准。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准规定了本系列产品生产过程中应共同遵循的基本原则。 本标准的目的在于帮助读者对动压气浮轴系刚度测量设备标准的使用有一个基本了解。 本标准对制造商进行动压气浮轴系刚度测量设备特性评价并提出技术要求有指导意义。 本标准对制定特定动压气浮轴系刚度测量设备标准有指导作用。 在阅读或使用特定动压气浮轴系刚度测量设备标准时应随时参考本标准。 本标准由黑龙江省质量技术监督局提出并归口。 本标准负责起草单位：哈尔滨工业大学、国家量仪产品质量监督检验中心。 本标准参加起草单位：哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司。 本标准主要起草人：谭久彬、黄向东、王玉莲。 本标准的参加起草人：田丰、于德海。动压气浮轴系刚度测量仪技术要求 范围 本标准规定了动压气浮轴系刚度测量仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、检验方法、标志与包装等。本标准适用于采用两位测量法完成动压气浮轴系刚度测量，气膜厚度测量范围为±250 μm，测量误差为0.1 μm的动压气浮轴系刚度测量仪。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 17163—2008 几何量测量器具术语 基本术语 GB/T 17164—2008 几何量测量器具术语 产品术语 JJF1001-2011 基本术语和定义 JJG 644-2003 振动位移传感器 GB/T 4793.1—2007 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求 第1部分：通用要求（IEC 61010-1，2001，IDT） GB/T 1912008 包装储运图示标志（ISO 780：1997，MODair-floated dynamic pressure bearing 轴系高速旋转并稳定工作时，在轴与转子间产生气膜，利用气膜产生支承和润滑作用，由流体压力和阻尼特性将轴系维持在一定的转动精度内。 型式与基本参数 型式 轴系刚度测量仪的型式与主要部分名称见图1所示。图示仅供图解说明，不表示具体结构。 1—基础平台； 2—气足； 3—立柱； 4—旋转台； 5—位移传感器； 6—动压气浮轴系； 7—被测轴系夹具。 轴系刚度测量仪的型式与主要部分名称 轴系刚度测量仪包括：位移传感器、旋转机构及动压轴系安装支架/或夹具。轴系刚度测量仪是利用位移传感器获得气膜厚度在重力方向的变化量，然后利用轴系刚度计算式获得轴系刚度。 轴系刚度测量仪采用两位测量法。其中两位测量法原理如图2所示。图示仅作图解说明，不表示详细结构。 两位测量法示意图 动压气浮轴系工作中转子自重对气膜产生压力，使转子在重力方向上偏离理想轴线，通过对该位移的测量来获得气膜的刚度值。以轴系径向刚度测量为例，实际测量时，轴系处于平稳工作状态，传感器在图2左图所示状态下对轴系进行第一次测量，获得d1；将轴系与传感器一