超精密气浮导轨技术要求.doc

ICS39.020 A52 备案号： DB23 黑龙江省地方标准 DB 23/ XXXXX—XXXX 超精密气浮导轨技术要求 Technical requirements for ultra-precision air guides 点击此处添加与国际标准一致性程度的标识 （本稿完成日期：2013-11-26） XXXX - XX - XX发布 XXXX - XX - XX实施 黑龙江省质量技术监督局发布 目次 前言 II 1　范围 1 2　规范性引用文件 1 3　结构型式与基本参数 1 3.1结构型式 1 3.2基本参数 2 4　要求 2 4.1　外观 2 4.2　各部分相互作用 2 4.3　主要技术指标 2 5　检验条件 2 6　检验方法 3 6.1　外观 3 6.2　各部分相互作用 3 6.3　检验项目 3 6.4　直线度 3 6.5　 3 7　检验规则 3 7.1　出厂检验 3 7.2　用户检验 4 8　标志与包装 4 8.1　标志要求 4 8.2　包装要求 4 8.3　文件要求 4 前言 本标准编制过程中主要依据GB/T1.1-2009进行。 本标准为新制定标准，目前没有与之等同的国际标准、国家标准及行业标准。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准规定了本系列产品生产过程中应共同遵循的基本原则。 本标准对制造商进行超精密气浮导轨特性评价并提出技术要求有指导意义。 本标准对制定特定超精密气浮导轨产品标准有指导作用。 在阅读或使用特定超精密气浮导轨产品标准时应随时参考本标准。 本标准由黑龙江省质量技术监督局提出并归口。 本标准负责起草单位：哈尔滨工业大学、国家量仪产品质量监督检验中心。 本标准参加起草单位：哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司。 本标准主要起草人：谭久彬、黄景志、陈涛、谷伟。 本标准参加起草人：田丰。 超精密气浮导轨技术要求 范围 本标准规定了超精密气浮导轨的术语和定义、基本参数、要求、检验方法、标志与包装等。 本标准适用于直线度不大于0.05μm/100mm、0.8μm/1000mm的超精密气浮导轨。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 11336-2004 直线度误差检测 GB/T 13384-2008 机电产品包装通用技术条件 GB/T 17163-2008 几何量测量器具术语 基本术语 GB/T 17164-2008 几何量测量器具术语 产品术语 结构型式与基本参数 结构型式 超精密气浮导轨是利用气体(通常是空气，也可以是其它气体)作为润滑剂的滑动摩擦导轨，它通过向气浮导轨的气膜间隙内注入压缩空气，利用气膜压力作为支承，以分离相对运动的两个表面。超精密气浮导轨主要包括导轨和滑套两部分，导轨和滑套之间为气膜间隙，其结构示意图如图1所示，其中图(a为全封闭式超精密气浮导轨，图(b)为半封闭式超精密气浮导轨。图示仅供图解说明，不表示详细结构。 (a)全封闭式超精密气浮导轨 (b)半封闭式超精密气浮导轨 1.导轨； 2.滑套。 超精密气浮导轨结构示意图 基本参数 .2.1超精密气浮导轨的直线度不大于0.05μm/100mm、0.8μm/1000mm。 3.2.2超精密气浮导轨的承载不低于50kg。 要求 外观 超精密气浮导轨的各部件表面不应有划伤、碰伤、锈迹、脱漆、毛刺及影响外观质量的其他缺陷；带有电气驱动系统的超精密气浮导轨的电源线及信号线应具备有效保护；所有接线要求面线整齐，使用线夹、电缆套或者管道固定牢靠，约束内的线路编扎整齐，走线满足任何接线总体的拆除不会影响到与之无关的线缆。 各部分相互作用 各活动部位的移动或转动应平稳、灵活，手动时应手感舒适，不应有卡滞或“爬行”现象；各螺钉不应松动，锁紧装置锁紧后应紧固可靠。 主要技术指标 4.3.1超精密气浮导轨的直线度应符合表1的要求。 4.3.2超精密气浮导轨的承载应符合表1的要求。 超精密气浮导轨的主要技术指标 序号 指标名称 要求 1 直线度(X向、Y向) ≤0.05(m/100mm≤ 0.8(m/1000mm 2 承载 ≥50kg 检验条件 a)室内温度：20℃±1℃，温度变化不超过(0.5℃/h； b)室内湿度：30%RH～65%RH； c)恒温时间：检验前被检超精密气浮导轨与检验器具在检验室内恒温时间不小于12h； d)气源压力：0.25MPa~0.6MPa； e)检验系统应放置于隔振地基上。 检验方法 外观 目力观察。 各部分相互作用 目力观察和手动试验。 检验项目 检验项