MEMS加速度计温漂预测补偿模型.pdfVIP

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2017-09-14 发布于湖北
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MEMS加速度计温漂预测补偿模型.pdf

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第20卷第5期中国惯性技术学报 V01．20No．5 2012年10月 JournalofChineseInertial Oct．2012 Technology 文章编号：1005—6734(2012)05-0601-04 MEMS加速度计温漂预测补偿模型徐哲1’2，刘云峰1，董景新1 (1．清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京100084 2．总参陆航研究所，北京101121) 摘要：温度漂移是影响MEMS加速度计实用效能的关键问题，为提高加速度计的精度和使用范围，需对温漂进行建模和补偿。首先通过温度循环试验对MEMS加速度计温漂特性进行了分析，然后分别采用曲面拟合法、SVM模型和RVM模型建立了温漂预测补偿模型，最后应用环境温度试验数据对模型进行检验和验证。结果表明：三种方法均能够有效的预测加速度计温漂，补偿后的温漂滞环开口由6．0mg 5 分别下降到5 mg、1 mg、10 mg。曲面拟合法简单、精度高，但对系统重复性要求高，且对噪声比较敏感；SVM模型法计算能力强，但计算量较大，模型参数较多；RVM模型法模型参数较少，计算量小，但训练时间校长，且预测精度不如其他两种方法高。关键词：微机械加速度计：温漂：滞环：曲面拟合：支持向量机；相关向量机中图分类号：U666．1 文献标志码：A Thermaldrift and model compensation prognosis ofMEMSaccelerometer XU Zhel一，LIU Yun．fen91，DONGJing-xinl ofPrecisionMeasurementand (1．StateKeyLaboratory TechnologyInstruments， ofPrecisionInstrumentand 100084，China； Department Mechanology，TsinghllaUniversity,Beijing 101 2．ArmyAviation 121，China) institute，BeOing driftiSa factorthatlnfluencesthe effectivenessofMEMS Abstraet：ThermaI accelerometer． key practical are for The and ofthermaldrift the