四极对砷化硅定量分析的研究.pdfVIP

清 华 大 学 学 报 自 然 科 学 版 第 卷 第 期 用 四极型 对砷化嫁 中 ‘ 硅 定量分析 的研 究 清 华 大 学 电 子 工 程 系 姜 志雄 查 良镇 中国科学 院表面物理 实验 室 陈 新 陈春华 王佑祥 。 文 摘 中 的定量 分 析 是 典 型 的 分 析课题 , 有 明确 的应 用 背景 文 中对 影 响 定量分析 的一 些基 本 因素进 行 了实验研 究 , 用 才源和 源对均 匀掺硅和 离子注 入硅 。 品 了 , 的 样 进 行 定量分析 考 察 了实验 的稳定性 关钮词 二次离子质谱 定量分析 分类号 引 言 中 的定量分析是典型 的二 次离子 质谱 , 简 。 称 分析课题 在 中主要 取代 而 引入浅 施 主 能级 , 是重要 的 型掺杂 元 。 当 浓 , 会 一 而 主 , 又 素 掺杂 度较 高 时 也 取代 部分 起受 能级作用 这 时 会呈现 型掺杂 特性 。 这 种互补效应使 电学测量 结果有 时不能真实反 映 在 中的原子浓度 。 而 直接测 量掺杂元 素含量 , 具有很高 的检测灵 敏度和较好 的深度分辨 能力 , 因此 用 进 行 中 的定量 分析在微 电子和光 电子领域 中有着很强 的应用背景 。 影 因 , 和 , 响 定量分析 的 素很 多 实验 的重复性 稳定性是 定量分析 的前提 因此 真空 环 、 聚 态 、 能 面 用 、 不 同二 、 二 境 一次束 焦状 荷 离子 与表 的作 过程 次离子 的发射规律 次离子分 析 系统 的参 数及 量 干 、 效应 对 定量 析 有影 响川 。 文用 四极 器