单晶拉制作业指导书(新).docVIP

目的 将硅多晶及硅单晶转变成客户需要的硅单晶。 适用范围 宁夏单晶炉 使用设备及工具 ·宁夏单晶炉、真空泵（主/辅）、循环冷却水系统、氩气输送系统、 ·斜口钳、螺丝刀、不锈钢托盘、不锈钢推车、硅单晶专用取棒车、美工刀等 材料 ·多晶硅、可回收利用的硅材料、掺杂剂、5个9的高纯Ar、可循环的软化冷却水、高纯石墨热场 ·一次性手套、防静电手套、乳胶手套、隔热手套、一次性口罩 ·无尘清洁纸 、无水乙醇 环境要求 洁净房 重要工艺参数 见《工艺参数卡》 宁夏单晶炉面板介绍 作业步聚 热场组立 按照《热场装配图》，将热场部件逐一装配组合。 ※ 注意外保温筒的测温孔与温度传感器对准，否则将无法用温度控制拉晶。 点击【坩埚】键调出坩埚控制菜单，在方框内中输入想要的坩埚转速，按【OK】键确认，最后点击【ON】按钮让坩埚旋转来确认加热器是否与中轴同心，可以调整加热器的两个固定螺丝使中轴与加热器尽量调至同心。 将石墨坩埚放入后再对中，确保坩埚四周与加热器的位置大于3mm，并尽量同心。 将上保温筒装上，并用如上方法确保导流筒安装的与石墨坩埚同轴。 对中中轴与加热器同圆心 对中加热器与石墨坩埚 对上保温筒与石墨坩埚 热场组立完成后，控制状态不在原点的需要进行回原点。回原点前需要将炉体合拢，否则无法进行回原。点击【控制选择】调出菜单，点击回原点，点击执行后，籽晶、坩埚会进行归零限位，原点闪烁显示，待控制状态栏中原点点亮及完成原点操作。 石英坩埚的安装 取三张石墨纸条分别贴附在石墨坩埚的三个接合处 将石英坩埚的合格证取出，贴附在拉晶记录上。 戴上一次性手套，拿出石英坩埚，在灯光下确认石英坩埚有无伤痕、裂纹、气泡、黑点。 确切的要求参照我们对石英坩埚供应商的来料要求。 放入石墨坩埚内，比较石墨坩埚与石英坩埚的高度，确认并调整水平 去掉高出石墨坩埚的石墨纸条 石英坩埚安装好后，设定坩埚转速8rpm，确认石英坩埚在转动时不会晃动方可。 手动操作手柄的【坩埚高速】打向下降，使坩埚下降至合适位置，装入导流筒支撑环、顶部保温筒，并尽量同心。 手动操作手柄的【坩埚高速】打向上升，使坩埚上升至适合装料的位置，用无尘纸蘸少许酒精擦拭石英坩埚内壁的污染物 装入石墨条 检查石英坩埚 装入石英坩埚 掺杂剂的装入 确认掺杂剂料包上所写的重量与拉晶指示书上的数据是否一致。 带上一次性的手套，将装有掺杂剂的料包在石英坩埚的上方且低于石英坩埚口的位置打开并抖动装料袋使掺杂剂全部落入石英坩埚中。 硅原料装入 取较小的材料约2-3kg平铺于埚底，然后再放入一些大块料。 为了稳固再放入一些小料，直径小于5㎜硅料平铺在石英埚的中部 放入中等块的料，大约为大块料的2/3左右，将剩下的小块料尽量填在缝隙中。 用吸尘器吸净周围的硅粉 装料完毕后，将石英坩埚下降到下限,转动坩埚查看是否转动平稳。 时刻注意一次性手套有无破损，如有破损要及时更换 应该尽量避免细小的料接触石英坩埚上层埚壁，以防挂边，避免大块的料尖锐处直指埚壁以免砸坏石英坩埚。 掺杂剂的装入 小块材料装入 大块材料装入 中块材料装入 吸去硅碎屑 下降石墨坩埚至最低 导流筒的安装 将手动操作手柄上的【籽晶】键打向下降将籽晶夹头降至合适位置。把导流筒放在小车上安装导流筒挂钩并用无尘纸沾拭酒精擦净。 安装导流筒前确保籽晶夹头上的热屏挂钩举上落下自如，确认其固定螺丝是否有可能掉出。 确认导流筒上的三个挂钩的螺丝是否拧紧，有松动需拧紧。 将热导流筒上挂钩，用手动操作手柄，上升籽晶将籽晶升降旋钮【籽晶】打到上升位置，停止籽晶升降时籽晶升降旋钮打到中间位置，下降籽晶将升降打到下降位置，反复几次使导流筒与炉盖相距3～5cm左右。 安装导流筒挂钩 安装导流筒 上升导流筒 炉的安装 用无尘纸沾拭无水酒精擦拭上炉体和下炉体的闭合法栏。 提起炉盖定位开关,转动上盖到与主体合拢的上方,放下炉盖定位开关。旋动手动操作手柄上的【上炉体】旋钮，打向下降位置，使炉体合拢，等电机自动停止。 ※炉体转动时防止导流筒晃动、破损；确认螺栓穿过法兰孔，防止炉盖被定位销顶起。 ※炉盖与下法栏接触后不能算盖好炉盖，一定要等电机到了限位自动停止，否则能进入化料程序但开启不了加热器。 炉盖盖好后,用探