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;?LCD基本構造(其斷面如下圖) ;塗佈光阻劑 Photoresist Coating;清 洗 Clean;清 洗 Clean;清 洗 Clean;清 洗 Clean;清 洗 Clean; 導電玻璃材料 就是在普通玻璃(不導電)的一個膠面層鍍上透明導電膜的玻璃.目前常用的導電玻璃是氧化銦,氧化錫玻璃,通常簡稱ITO玻璃,在生產過程中,每片玻璃都必經過万用電表檢 測,導電面為ITO正面,不導電面無ITO面為背面. 一、 ITO玻璃的結构,如圖1 °;二、LCD制造用的ITO導電玻璃規格;ITO玻璃的技術要求;光刻膠性能的主要指標. 感光度.光刻膠對光敏感的性能. 所以說,對于固定光強的曝光机,光刻膠的感光度越高,則曝光時間越短,反之,則差. 分辯率. 光刻精度的標志.它不僅与光刻膠本身有關.還与光刻工藝條件和操作技術等因素有關. 抗蝕性 只是在針孔密度小,粘附性能良好的情況下,才能有較強的抗酸.鹼能力.;接上;穩定性 – 光刻膠在常溫和暗房內(黃色光).光刻膠不發生暗反應. 針 孔 – 視其光刻膠膜上針孔形成密度盡可能低,它將直接影響光膠質量. 粘度和含固率 – 光刻膠越濃, 粘度就越大,涂膜就越厚,反之.就越薄, 因此.我們常采用改變光膠濃度調節粘度,控制膜厚度.例中: 光刻細小圖表時,為了提高分辯率,膠層相對薄些故采用濃度較稀的光刻膠. 溫度高.固含率低.粘度變小,膜薄,反之則厚. ;光刻膠的分類;接上;主要不良影響:;主要不良影響:;主要不良影響:;主要不良影響:;共同進步
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