离子束溅射薄膜压力传感器的力学特性.pdfVIP

维普资讯 14 传 感 器 技 术 第 20卷 矩仪。 平行力系。并且通过加载杆 中间下方 的 自位装置与 3 万能静重式扭矩仪的原理 加载装置相联 ；而力加载装置则 固定在支座上。这样 万能静重式扭矩仪示意图如图5。 通过力加载装置加力后，则在两面钢绳上分别产生 各为该力的一半力加在于力臂杆的两端 ，并且 由于 力臂杆与加载杆平行，则使标定扭轴产生一纯扭力； 而且加载杆产生 的微小转角由自位装置克服。 此时标定精度主要取决于力加载装置的精度， 而选择力加载装置的可塑性是很大的：例如液压千 斤顶和标准测力仪的组合；液压千斤顶和测力压头 的组合等等。 4 万能静重式扭矩仪的标定结果 经万能静重式扭矩仪的标定 ，并用PS一85数据 处理装置回归结果为 圈 5 万能睁t式扭矩但示薏 围 Y = 3．642X + 19686． Rg．5 Sketchm ofm~!li— netweight m t 相关系数 ：R =0．997． 图5中，扭矩仪由加载前防止被标定轴产生附 摄大误差小于0．5％，其回归 曲线如图7所示。 加弯矩的支撑杆 ，加标准砝码 (或重物)的两个加载 框，两端悬挂加载框的钢绳 ，力臂杆 (左、右两半边力 臂均为L=0．5cm)，导轮(1)及可调整导轮座等组 成。但在加载框中加人相同重量砝码，则根据万能静重 式扭矩仪的特点，是标定扭轴上承受一固定的纯扭矩。 {争c 倒 罟了 另外，为了增加这一扭矩仪的可用性 ，在力臂杆的 舞 中间处所加工的卡头及固定卡头均有足够的可调量，为 了适应不同的被测轴长度，导轮座(1)做成可调节的。 由此可见，该扭矩仪的特点是：(1)可对大部分 力矩M／~-m) 圈7 用静I式扭矩仪标定接轴时．标定点的回归曲鲑 太、中、小接轴进行机械标定 ；(2)由于接轴受纯扭 Fj窖．7 Reg 0Ⅱ伽r 0f血啦 hI血扛 矩作用，可以不考虑由测量所带来的误差；(3)标定 5 结 论 精度只取决于所加重量的精度；(4)不用考虑转角 经过理论分析和试验结果表明，本设计可对大、 的影响；(5)结构简单。 中、小联接轴进行标定；由于联接轴受纯扭作用 ，可 为了解决实际应用 问题，对万能静重式扭矩仪 以不考虑由测量带来的系统误差；标定精度只取决 进行了改进，结构图如图6。 于加载砝码和加载装置的精度。