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本发明涉及一种高效的硼扩散工艺,具体包括以下步骤:1)将N型硅片送入低压扩散炉内并完成升温及捡漏;2)升温至预沉积温度一完成前氧及预沉积一;3)升温至预沉积温度二并恒温一定时间完成推结一,预沉积二及氧化;4)升温至推进温度进行推结二及后氧;5)降温并出管。本发明优点在于:提出一种高效的硼扩散工艺,预沉积一为主要掺杂源,保证了掺杂的深度,在二次沉积前后均有通氧进行氧化的步骤,让硼源沉积在氧化层中(BSG),保证了硅片在硼掺杂过程中,抑制高浓度硼往硅中扩散,使得非激活硼的含量较少,可有效减少复合,降
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114373674 A
(43)申请公布日 2022.04.19
(21)申请号 202111464207.0
(22)申请日 2021.12.03
(71)申请人 普乐新能源科技(徐州)有限公司
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