扫描电镜作业指导书.pdf

标 题 编 制 扫描电镜作业指导书 Item Prepared By 编 号 版 次 审 核 Doc. No. Version Checked By 生效日期 页 码 批 准 1/9 Valid Date Page Approved By 作业说明 1.修订履历 版 本 变 更 内 容 编 制 人 修订日期 2.评审会签 （□需会签 ■无需会签） 会签部门 会签意见 会签人 会签日期 标 题 扫描电镜作业指导书 页 码 2/9 Item Page 作业说明 1.目的： 本作业指导书适用于扫描电镜测试，其目的是检测固体粉末、固体颗粒、块状物等表面形貌等是 否满足有关标准的要求，规定了交接验收、预防性试验、检修过程中的试验项目的引用标准、仪器设 备要求、作业程序、试验结果判断方法和试验注意事项等。制定本作业指导书的目的是规范操作、保 证试验结果的准确性，为设备运行、监督、检修提供依据。 2.应用范围： 检测磷酸铁锂、石墨、SP、导电碳黑、PVDF、隔膜等固体原材料表面形貌。 3.权责： 品质部：固体表面形貌检验方法的制定与执行。 4.测试原理： 主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电 子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面 放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。扫 描电镜 （SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料 的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；② 有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制 备简单。 如图所示： 图4.1 标 题 扫描电镜作业指导书 页 码 3/9 Item Page 作业说明 5.操作流程： 5.1 样品制备： ①在样品台上贴上导电胶带如图5.1，再将待 测样品覆盖到导电胶上图5.2。 图5.1 图5.2 5.2 开机准备： ①打开电源开关，同时启用电脑如图5.3所 示，点击 VENT放气，待窗口中Chamberva