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存储芯片生产线自动化控制系统设计方案.docx

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    存储芯片生产线自动化控制系统设计方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、系统设计目标 5

    三、自动化控制系统总体架构 6

    四、自动化控制系统组成部分 9

    五、生产线自动化控制需求分析 10

    六、自动化控制系统功能要求 13

    七、控制系统硬件选型 14

    八、数据采集与处理系统设计 17

    九、控制系统可靠性设计 19

    十、系统容错与故障诊断 21

    十一、设备监控与管理系统设计 23

    十二、生产线流程控制与优化 25

    十三、温湿度与环境控制系统设计 27

    十四、能源管理与节能控制设计

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