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JJF22062025
目录
引言………………………()
Ⅱ
范围……………………()
11
引用文件………………()
21
术语……………………()
31
概述……………………()
42
计量特性………………()
52
终端组件真空压力…………………()
5.12
终端组件流量………………………()
5.22
噪声…………………()
5.32
校准条件………………()
62
环境条件……………()
6.12
测量标准及其他设备………………()
6.23
校准项目和校准方法…………………()
73
外观及功能性检查…………………()
7.13
终端组件真空压力…………………()
7.23
终端
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