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2025年微纳传感器制备工艺与多参数检测考核试卷
一、单项选择题(每题1分,共30题)
1.微纳传感器的主要制造工艺不包括:
A.光刻技术
B.蒸发沉积
C.注塑成型
D.激光刻蚀
2.以下哪种材料不适合用于制备高灵敏度微纳传感器?
A.氧化锌
B.石墨烯
C.二氧化硅
D.金属铝
3.微纳传感器在生物医学领域的应用不包括:
A.基因测序
B.脑电波监测
C.气体检测
D.血糖监测
4.以下哪项不是微纳传感器的主要性能指标?
A.灵敏度
B.响应时间
C.抗干扰能力
D.成本
5.制备微纳传感器时,常用的光刻技术是:
A.等离子体刻蚀
B.干法刻蚀
C.光刻胶涂覆
D.电子束刻蚀
6.以下哪种
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