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2026-2030中国碳化硅外延设备市场深度调查与发展前景预测报告版
目录
TOC\o1-3\h\z\u14187摘要 3
17929一、中国碳化硅外延设备市场发展背景与战略意义 5
302561.1碳化硅半导体产业在全球能源转型中的关键作用 5
8721.2国家“双碳”战略对碳化硅外延设备需求的驱动机制 6
11685二、碳化硅外延设备技术原理与核心构成 8
308282.1外延生长工艺技术路线对比(CVD、MBE等) 8
158872.2设备核心模块解析 11
13298三、全球碳化硅外延设备市场格局分析 12
50763.
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