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化学气相淀积工岗位现场作业操作规程

文件名称：化学气相淀积工岗位现场作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于化学气相淀积（CVD）工岗位现场作业，旨在规范操作流程，确保安全生产，提高产品品质。通过本规程的实施，明确作业要求，减少人为错误，降低事故风险，确保作业人员安全和产品质量稳定。

二、操作前的准备

1.劳动防护用品：操作人员必须佩戴防护眼镜、防尘口罩、防静电手套、防静电鞋和耳塞等防护用品，确保身体安全。

2.设备检查：

a.检查设备是否处于正常工作状态，包括电源、气体供应、真空度等；

b.检查设备表面是否有异常磨损或损坏，及时更换或维修；

c.检查控制系统是否稳定，确保操作指令能够准确执行。

3.环境要求：

a.工作场所应保持整洁，无杂物，通风良好，温度适宜；

b.工作区域应设置明显的警示标志，提醒操作人员注意安全；

c.严禁在工作区域内吸烟、饮食，保持工作区域卫生。

4.原料和试剂准备：

a.根据生产计划，准备所需的各种原料和试剂；

b.检查原料和试剂的质量，确保符合生产要求；

c.原料和试剂应存放于干燥、通风的专用容器中，避免受潮和污染。

5.文件资料准备：

a.复核生产指令和操作规程，确保无误；

b.准备好相关的操作记录表格和监控数据记录本；

c.确保所有文件资料齐全，便于操作过程中查阅和记录。

三、操作步骤

1.启动设备：首先开启CVD设备电源，检查气体供应系统是否正常，确保真空泵启动并达到预定真空度。

2.装载衬底：将待处理的衬底放置于设备载片台上，确保衬底位置正确，避免倾斜或接触设备内部。

3.设定参数：根据生产要求，在控制面板上设置温度、压力、气体流量等参数，确保参数准确无误。

4.加热衬底：启动加热系统，逐渐升温至设定温度，保持恒温，确保衬底均匀加热。

5.气体注入：依次注入反应气体，控制气体流量和压力，确保气体均匀分布。

6.反应过程：启动反应系统，观察反应过程，注意观察衬底表面变化，防止异常情况发生。

7.冷却衬底：反应完成后，逐渐降低温度，避免衬底因骤冷而破裂。

8.取出衬底：待衬底冷却至室温后，小心取出，检查表面质量，确保符合要求。

9.记录数据：详细记录操作过程中的各项参数和观察到的现象，为后续分析提供依据。

10.关闭设备：完成操作后，关闭气体供应，停止加热，关闭设备电源，确保设备安全。

关键点：确保设备运行稳定，气体供应充足，温度控制准确，操作过程中密切观察衬底变化，及时发现并处理异常情况。

四、设备状态

1.良好状态：

a.设备运行平稳，无异常振动和噪音；

b.各项参数显示正常，无报警信息；

c.真空度达到设定值，气体流量稳定；

d.衬底表面无划痕、污染，质量符合要求；

e.操作面板指示灯正常，控制系统响应迅速。

2.异常状态：

a.设备出现振动或噪音异常，可能是轴承磨损、密封不良或机械部件松动；

b.参数显示异常，如温度过高或过低，压力不稳定，可能是传感器故障或控制系统问题；

c.真空度不足，可能是泵故障、管道堵塞或阀门泄漏；

d.气体流量不稳定，可能是气体供应系统问题或流量控制阀故障；

e.衬底表面出现划痕、污染，可能是设备内部有异物或操作不当；

f.操作面板指示灯异常闪烁或控制系统无响应，可能是电路故障或软件错误。

在发现设备异常状态时，应立即停止操作，进行以下处理：

-检查相关部件，如轴承、密封件、管道和阀门；

-重新校准传感器和控制系统；

-清理设备内部，去除异物；

-更换损坏的部件；

-修复电路或软件错误。

确保设备在良好状态下运行，对于保障操作安全、提高产品质量至关重要。

五、测试与调整

1.测试方法：

a.真空度测试：使用真空计测量设备真空度，确保其达到工艺要求。

b.温度测试：使用红外测温仪或热电偶测量设备内部温度分布，检查是否均匀。

c.气体流量测试：使用流量计测量气体流量，确保其符合工艺参数。

d.压力测试：使用压力表检查设备内部压力，确保稳定。

e.电阻率测试：对沉积的薄膜进行电阻率测试，评估薄膜质量。

2.调整程序：

a.真空度调整：根据测试结果，调整真空泵或检查管道密封性，确保真空度达到要求。

b.温度调整：根据温度分布情况，调整加热系统，使衬底温度均匀。

c.气体流量调整：根据流量计读数，调整气体流量控制阀，确保气体流量稳定。

d.压力调整：根据压力表读数，调整压力控制系统，保持设备内部压力稳定。

e.电阻率调整：根据薄膜电阻率测试结果，调整沉积参数，如气体流量、温度等，优化薄膜性能