非旋转对称光学非球面（柱面）面形绝对检验技术：原理、实践与创新.docx

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2025-11-23 发布于上海
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非旋转对称光学非球面（柱面）面形绝对检验技术：原理、实践与创新

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学系统不断演进的进程中，光学元件作为核心构成部分，其性能优劣对整个光学系统的表现起着决定性作用。非旋转对称光学非球面（柱面），凭借独特的光学特性，在诸多前沿领域中占据着不可或缺的关键地位。在航天遥感领域，搭载非旋转对称光学非球面（柱面）元件的光学系统能够实现更高分辨率的图像采集，为地球观测、天文探测等任务提供更为清晰、准确的数据，助力科研人员对宇宙奥秘的探索以及对地球环境变化的监测；在高端光刻设备里，该元件可有效提升光刻精度，满足芯片制造日益增长的高精度需求，推动集成电路技术朝着更小尺寸