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单晶金刚石的ICP刻蚀工艺研究
目录
一、内容综述3
1.研究背景与意义3
1.1单晶金刚石材料特性及应用领域8
1.2ICP刻蚀技术在单晶金刚石加工中的意义10
2.国内外研究现状及发展趋势12
2.1ICP刻蚀工艺在单晶金刚石领域的应用现状14
2.2发展趋势与挑战17
3.研究目的与内容概述18
3.1研究目的20
3.2研究内容与方法21
二、单晶金刚石材料的基础理论21
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