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【课件】集成电路及半导体行业特气安全培训.docx

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    01特气在IC中的应用

    02特气安全事故案例

    目录CONTENTS

    目录

    CONTENTS

    03特气使用安全风险

    04特气安全使用要求

    05特气事故应急处置

    01特气在IC中的应用

    4

    术语

    特种气体

    specialtygas

    电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、

    剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。

    大宗特种气体

    bulkspecialtygas

    一般指单个气体设备容积大于400L的特

    种气体。

    气体纯度

    gaspurity

    5N纯度为99.999%，5.5N纯度为

    99.99

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