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光学表面浅弱划痕的精细检测研究.pdf

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    摘要

    摘要

    光学元件作为精密光学系统的核心功能载体，在其成形、精修、抛光等加

    工制造过程中不可避免地会产生各类缺陷，特别是狭窄细长的表面划痕。这些

    划痕缺陷不仅直接损害光学元件的表面质量，甚至影响整个光学系统的稳定运

    行。相对于效率低下、一致性差且难以实现缺陷定量分析的传统人工检测，基

    于机器视觉的检测方法能够有效提升了检测的效率和一致性，但现有方法受限

    于泛化能力和检测精度，在表面划痕特别是浅弱划痕的检测方面仍存在不足。

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