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深圳市诚质半导体设备有限公司
ShenZhenTrustQualitySemiconductorEquipmentCo,.Ltd.1
TQ-T510B
系统简介
版本号:Ver1.0
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一、硬件系统简介
TQT510B测试机,是专门针对目前主要消费类数字IC测试所设计.本系统适用于IC工程测试分析及
量产测试,具有数字电路数字量,DC及AC参数量功能;本系统开发在DOS操作系统下,具有可靠性高,
稳定性好,适应长时间运行特点。软件操作界面简洁明了,方便实用。TTL接口可与多种Prober/Handler
连接,并且可通过软件调节接口信号触发方式,适应不同机器接口;通过RS232或GPIB与Prober连接
可以生成WaferMap,便于测试跟踪分析。
最大数据传输率10MHz,分辨率10ns。
最大I/OPIN:128通道,最小32通道。
每个通道可以单独设置输入电平(VIH/VIL)。
每个通道可以单独设置比较电平(VOH/VOL)。
每个通道均可单独设置时钟调制模式。
每个通道均可单独设置TG。
每个通道均可进行时间参数测量。
可最大4DUT同时并行测试。
测量向量深度最大8M。
系统不需外部板卡可通过自身进行自校验和自校准。
二、硬件结构说明
TQT510B测试机实物图如图(一)、图(二)所示:
图(一)
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图(二)
Ⅰ、系统资源功能说明
1.测试通道(CH)
系统最大有128个试通道(TestChannel),以32通道为单位增加,每个通道均为I/O通道。图(三)
是测试通道与DUT板的连接示意图,从图上可以看出,从DUT板到测试机内部每个通道都有一个继电器
(DUTR1-DUTR128)串在中间,这些继电器用户要通过软件来控制它们的开或关,具体请参考软件使用说
明。同时,每一个通道又通过PMUR与测试机内部测量单元PMU相连,因此可以通过PMU测量到每一个通
道。目前用户不用直接操作PMUR继电器,系统提供ASSIGNFV()、ASSIGNFI和DCTEST()函数来实现PMU
对每个通道的测量。
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图(三)
2.PMU
系统共有4个PMU(PrecisionMeasurementUnit)单元。PMU通过PMUR测量每一个通道的示意图请
见图(三)所示,
PMU1对应的测量通道为CH1、CH5、CH9…CH125;
PMU2对应的测量通道为CH2、CH6、CH10…CH126;
PMU3对应的测量通道为CH3、CH7、CH11…CH127;
PMU4对应的测量通道为CH4、CH8、CH12…CH128
PMU的具体技术参数见TQT510B测试机系统规格》。
3.DPS
系统共有4个DPS(DevicePowerSupply)单元。DPS通过DPSR继电器把DPSForce和DPSSense
连接到DUT板,见下面图(四)所示。双颗测试时DUT1对应DPS1、DPS2,DUT2对应DPS3、DPS4,四颗
测试时DUT1对应DPS1,DUT2对应DPS2,DUT3对应DPS3,DUT4对应DPS4。多颗测试时,只要对单颗资
源进行设定。DPS的具体技术参数见TQT510B测试机系统规格》。
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