基于二硫化铼的MEMS光电传感器设计与制备.docxVIP

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2025-11-21 发布于天津
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基于二硫化铼的MEMS光电传感器设计与制备.docx

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中文摘要

光电传感器是支撑信息科技发展的重要器件，目前已广泛应用于环境监测、航天探测、军事侦察等领域，基于二维材料的光电传感器是新一代探测技术的重要发展方向。其中，二硫化铼（ReS2）具有独特的扭曲三斜（1T）晶体结构，从块体材料到单层材料始终为直接带隙半导体，其带隙不随层数的改变而发生变化，同时ReS2还展现出独特的面内各向异性光电性质，这些特性使其在光电传感器领域展现出巨大的应用潜力，因此对ReS2进行深入研究符合当前半导体集成技术不断发展创新的需要。基于此，本论文结合SentaurusTCAD模型建构与性能仿真，采用微机电系统（Micro-Electro-Mecha