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加工方法柔性机构的加工慢走丝电火花加工(W-EDM)水切割激光切割快速成型与3D打印MEMS与纳米压印技术
线切割加工显微镜观察线切割加工质量线切割（W-EDM）钛合金（成本高）铍青铜（有污染）铝合金：AL6061、AL7075非加工表明要平整，以便测量。追求一体化加工，减小装配误差。选择合理的加工工艺，降低加工表面产生的应力，同时减小冷却水对加工产生的振动。放电参数，冷却水压力，加工顺序等加工特点：柔性机构的加工线切割加工可能带来的一些问题：性能改变、应力集中、材料缺失等。
水切割加工水切割（waterjet）非金属材料试用于各类非导电材料成
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