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2025至2030碳化硅衬底材料缺陷控制技术与新能源汽车模块化应用报告.docx

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    2025至2030碳化硅衬底材料缺陷控制技术与新能源汽车模块化应用报告

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    TOC\o1-3\h\z\u9984摘要 3

    24804一、碳化硅衬底材料缺陷类型与成因分析 5

    146861.1碳化硅晶体结构缺陷分类 5

    196961.2杂质与掺杂引入的电学性能缺陷 6

    27879二、2025–2030年碳化硅衬底缺陷控制关键技术演进路径 8

    102172.1晶体生长工艺优化方向 8

    259522.2后处理与表征技术突破 10

    25587三、新能源汽车功率模块对碳化硅衬底性能的核心需求 12

    317513.1车规级SiCMOSF

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