不同模具参数对极细Ag-Pd键合合金线拉制质量的影响.pdfVIP

《热加工工艺》2016年9月第45卷第17期

不同模具参数对极细Ag-Pd键合合金线

拉制质量的影响

曹军·，范俊玲2高文斌

f1．河南理工大学机械与动力工程学院，河南焦作454000；2．焦作大学化工与环境：r．cA学院，河南焦作454000)

摘要：利用光学显微镜、模具孔径测量仪、扫描电镜分析了不同模具参数拉制的Ag．Pd键合合金线断口形貌及表

面质量。研究了模具不同润滑区角度、不同定径区长度和形状以及出口区角度对线表面质量及拉断形貌的影响。结果表

明：模具润滑区角度、定径区长度和形状、模具出口角度等对Ag-Pd键合合金线拉制质量有较大影响。确定的工艺参数

为：模具润滑区角l4。、定径区长度0．015mill、模具出口角8O。。

关键词：银．钯合金键合线；拔丝模具；润滑区角度；定径区长度；出口角度

DOI：10．14xsa／j．cnki．1001-3814．2016．17．011

中图分类号：TG356．1文献标识码：A文章编号：1001．3814(2016)17-0039．04

EffectsofDifferentDieParametersonFineAg_PdBondingWireDrawingQuality

CAOJun1。FANJunling~，GAOWcnbin

(1．SchoolofMechanicalnadPowerEngineering，HenanPolytechnicUniversity,Jiaozuo454000，Chma；2．Schoolof

ChemicMnadEnvironmentalEngineering，JiaozuoUniversity，Jiaozuo454000，Chnia)

Abstract：FracturemorphologyandsurfacequalityofAg-Pdbondingalloywiredrawnbydifferentdieparameterswere

analyzedbymenasofopticalmicroscope，dieaperturemeasuringnistrumentnadscannnigelectronmicroscope．Theeffectsof

differentlubricationareanagle，lengthnadshapeofdiebearing，outletnagleofthedieonsurfacequalityanddrawingfracture

morphologiesofthewirewerenivestigated．Theresultsshowthathtelubricationareanagle，lengthofdiebeating，bearing

shapenadoutletnagleofhtediehaveagreatnifluenceontheAg-Pdbondingalloywiredrawnigquality．Thedetermnied

processparametersaredielubricationareanagleof14。，htediebearinglengthof0．015otni，naddieoutletnagleof80。．

Keywords：Ag-Pdalloybondingwire；drawingdie；dielubricationareaangle；diebearinglength；dieoutletnagle

随着集成电路及LED封装向高密度、多层化发可以有效阻止Au原子向Al界面扩散的结论：YW

展，要求使用线径更细(0．012～0．016mm)、力学Tseng等1【l】研究了Ag-2Pd合金线键合界面特性．得

性能和电学性能更好的键合引线进行细间距键合，出了合金线键合界面存在Ag3(Pd)A1和Ag2(Pd)AI

Ag．Pd键合合金线由于其优秀的电学性能、良好的金属间化合物，以及Pd元素可以降低键合界