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《微机电系统（MEMS）技术金属薄膜机械性能的仪器化纳米压入试验方法》.pdf

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    T/XXXXXXX—XXXX

    微机电系统（MEMS）技术金属薄膜机械性能的仪器化纳米压入试

    验方法

    1范围

    本文件适用于常温环境条件下附着在固体硬基底表面的金属薄膜，压入方向为垂直于试样表面的

    方向，压入深度范围通常在纳米量级，也可以扩展到几微米。

    本文件给出了金属薄膜材料的硬度、弹性模量和应力应变曲线的测定方法。

    2规范性引用文件

    下列文件中的

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