面向大面积微_纳加工的柔性衬底多针尖阵列制备技术研究.docxVIP

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2025-11-11 发布于上海
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面向大面积微_纳加工的柔性衬底多针尖阵列制备技术研究.docx

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面向大面积微/纳加工的柔性衬底多针尖阵列制备技术研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

纳米科技作为21世纪最具活力和潜力的前沿科技领域之一，在过去几十年中取得了飞速发展。它以原子、分子为基本单元，在纳米尺度（1-100纳米）上研究物质的特性和相互作用，创造出具有特殊性能的材料、器件和系统。纳米科技的发展为众多领域带来了革命性的变化，如信息技术、生物医学、能源、环境保护等，推动了这些领域向更高性能、更小尺寸、更智能化的方向发展。

微/纳加工技术是纳米科技的关键支撑技术，它涉及到在微观和纳米尺度上对材料进行精确加工、制造和操控，以实现各种微纳结构和器件的制备。从集成电路芯片到微机