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智能制造概论 课件 第1--3章 绪论、面向智能制造的新一代信息技术---智能制造的系统工程技术.pptx

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    第一章绪论《智能制造导论》

    内容提纲引导案例与学习目标第一节、概述第二节、智能制造系统的要素与特征第三节、智能制造的模式变革第四节、智能制造的技术体系第五节、智能制造的发展趋势

    第2页光刻机是芯片制造工艺中的核心设备，其制造技术难度高，被誉为半导体工业“皇冠上的明珠”。引导案例制造难点┃多学科技术融合精密制造智能控制材料学微电子学...┃光学加工精度级高EUV光刻机的反射镜需要达到皮米级精度对表面粗糙度及面精度要求极高┃机械加工精度级高7nm光刻机光刻的线条宽度相当于5个原子并列┃自动控制精度级高EUV光的产生是用二氧化碳激光每秒5万次去轰击液态

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