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扫描电镜试卷及答案

一、单项选择题（每题2分，共10题）

1.扫描电镜（SEM）主要用于观察样品的什么特性？

A.元素组成

B.形貌结构

C.光谱信息

D.化学性质

答案：B

2.扫描电镜的分辨率主要取决于什么？

A.加速电压

B.样品大小

C.探测器类型

D.软件算法

答案：A

3.在扫描电镜中，二次电子信号主要来自样品的什么区域？

A.表面

B.次表面

C.核心区域

D.背景区域

答案：A

4.扫描电镜中常用的探测器是？

A.光电二极管

B.硅漂移探测器

C.光学显微镜

D.电子显微镜

答案：B

5.扫描电镜中，背散射电子信号主要来自样品的什么区域？

A.表面

B.次表面

C.核心区域

D.背景区域

答案：C

6.扫描电镜中，样品室内的真空度通常要求达到？

A.10^-3Pa

B.10^-5Pa

C.10^-6Pa

D.10^-7Pa

答案：D

7.扫描电镜中，样品台的主要功能是？

A.提供光源

B.支持样品

C.进行光谱分析

D.控制电子束

答案：B

8.扫描电镜中，电子束的加速电压通常在？

A.1kV

B.10kV

C.100kV

D.1000kV

答案：C

9.扫描电镜中，样品制备通常需要？

A.高温处理

B.低温处理

C.化学腐蚀

D.机械抛光

答案：D

10.扫描电镜中，样品的导电性对成像质量的影响是？

A.无影响

B.正面影响

C.负面影响

D.无明显影响

答案：C

二、多项选择题（每题2分，共10题）

1.扫描电镜的主要组成部分包括？

A.电子枪

B.真空系统

C.样品台

D.探测器

E.显像管

答案：A,B,C,D

2.扫描电镜中常用的样品制备方法包括？

A.脱水

B.固体切片

C.蒸发沉积

D.离子溅射

E.化学腐蚀

答案：B,C,D,E

3.扫描电镜中，常用的信号类型包括？

A.二次电子信号

B.背散射电子信号

C.吸收电子信号

D.X射线信号

E.光子信号

答案：A,B,D

4.扫描电镜中，样品台的类型包括？

A.固定样品台

B.旋转样品台

C.可控温样品台

D.可控场样品台

E.自动样品台

答案：A,B,C,D,E

5.扫描电镜中，电子束的聚焦方式包括？

A.电磁透镜

B.电磁场

C.电阻聚焦

D.电流聚焦

E.电压聚焦

答案：A,B

6.扫描电镜中，常用的分析技术包括？

A.能量色散X射线谱（EDS）

B.透射电子显微镜（TEM）

C.扫描电子能量损失谱（EELS）

D.二次电子像

E.背散射电子像

答案：A,C,D,E

7.扫描电镜中，样品的表面形貌观察主要依赖？

A.二次电子信号

B.背散射电子信号

C.吸收电子信号

D.X射线信号

E.光子信号

答案：A

8.扫描电镜中，样品的成分分析主要依赖？

A.能量色散X射线谱（EDS）

B.透射电子显微镜（TEM）

C.扫描电子能量损失谱（EELS）

D.二次电子像

E.背散射电子像

答案：A,C

9.扫描电镜中，样品的微观结构分析主要依赖？

A.二次电子信号

B.背散射电子信号

C.吸收电子信号

D.X射线信号

E.光子信号

答案：B

10.扫描电镜中，样品的表面成分分析主要依赖？

A.能量色散X射线谱（EDS）

B.透射电子显微镜（TEM）

C.扫描电子能量损失谱（EELS）

D.二次电子像

E.背散射电子像

答案：A

三、判断题（每题2分，共10题）

1.扫描电镜的分辨率可以达到纳米级别。

答案：正确

2.扫描电镜只能观察导电样品。

答案：错误

3.扫描电镜中，背散射电子信号主要来自样品的表面。

答案：错误

4.扫描电镜中，二次电子信号主要来自样品的次表面。

答案：错误

5.扫描电镜中，样品制备通常不需要复杂的化学处理。

答案：错误

6.扫描电镜中，样品台的旋转可以提高成像质量。

答案：正确

7.扫描电镜中，电子束的加速电压越高，分辨率越高。

答案：正确

8.扫描电镜中，能量色散X射线谱（EDS）主要用于样品的成分分析。

答案：正确

9.扫描电镜中，背散射电子像主要用于样品的形貌观察。

答案：错误

10.扫描电镜中，二次电子像主要用于样品的成分分析。

答案：错误

四、简答题（每题5分，共4题）

1.简述扫描电镜的基本工作原理。

答案：扫描电镜通过电子枪发射电子束，经过电磁透镜聚焦后，扫描样品表面，收集样品产生的二次电子或背散射电子信号，通过探测器转换为图像信号，最终在显像管上显示样品的形貌图像。扫描电镜可以提供高分辨率的样品表面形貌信息，同时结合能量色散