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CN113539885B 信息处理装置、检测方法、基板处理系统及物品的制造方法（佳能株式会社）.docxVIP

CN113539885B 信息处理装置、检测方法、基板处理系统及物品的制造方法（佳能株式会社）.docx

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    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN113539885B(45)授权公告日2025.06.27

    (21)申请号202110382069.5

    (22)申请日2021.04.09

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113539885A

    (43)申请公布日2021.10.22

    (30)优先权数据

    2020-0716922020.04.13JP

    (73)专利权人佳能株式会社

    地址日本东京都大田区下丸子3-30-2(72)发明人增田充宏鲛岛裕纪

    (51)Int

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