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电子级气体分配系统方案
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一、项目总体概述 3
二、系统设计总体原则 5
三、气体分配系统功能定位 7
四、系统建设目标与范围 9
五、工艺流程总体设计 11
六、气体种类与特性分析 12
七、气源供给方式与配置 14
八、气体纯度与质量控制要求 16
九、气体输送路径与管网布局 18
十、主干管路设计方案 20
十一、压力控制与调节系统设计 22
十二、流量控制与监测方案 23
十三、气体储存与缓冲装置设计 24
十四、阀门与接头选型原则 26
十五、材料选用与
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